Depuis une trentaine d’années, la microélectronique fait appel aux matériaux de type polymère organique pour de nombreuses applications : la photolithographie, le packaging, la micro fluidique ou bien le collage. Dans cette dernière application, les polymères organiques sont des matériaux de choix car ils peuvent être mis en forme très facilement, ce qui permet d'obtenir des films dans une large gamme d'épaisseur (De 10 nm à 100 µm). Par ailleurs, ils résistent à des températures compatibles avec certains procédés d’élaboration des transistors. Et leur bonne propriété d’isolation électrique est souvent avantageuse. Dans ce contexte, on étudiera la réalisation de multicouches polymère/silicium pour l’élaborations de substrats innovants pour la micro électronique.

Le stage proposé au CEA-LETI de Grenoble va consister à tester différents polymères de façon à réaliser des empilements polymère/silicium. Les polymères testés seront des matériaux organiques déjà disponibles au LETI ou de nouveaux polymères développés au travers de partenariats industriels. Les travaux seront réalisés sur des machines industrielles dans le cadre de la salle blanche du LETI avec des plaquettes de silicium de 200 ou 300 mm. Une tâche importante consistera également à caractériser les polymères (ATG, viscosité, FTIR, ellipsométrie, stabilité des films…) d’une part et les mutlicouches d'autre part : morphologie, imagerie MEB, IR ou échographie. On évaluera également les propriétés d’adhérence des différents polymères avec le silicium.

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